機床的定位精度和重復(fù)定位精度都是用激光干涉儀來檢測的,。中圖儀器SJ6000機床激光干涉儀是高精度線性位移測量儀器，采用氦氖激光器作為光源,。其精度高,，抗干擾能力強，空氣湍流,、熱波動等影響甚微,，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室,，還可在車間條件下測量大距離用,。

SJ6000機床激光干涉儀可以通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測,，如可以測量數(shù)控機床的定位精度,、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量,。其線性定位測量的精度是0.5ppm,，可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應(yīng)用,，具有更強的環(huán)境適應(yīng)能力,，同時可進行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度,、線速度,、平面度、振動幅度及速度等,。

其線性鏡組應(yīng)用于機器軸的定位精度測量,、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等；也可用于機器軸的動態(tài)測量分析,。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品型號： SJ6800

產(chǎn)品名稱： 激光干涉儀

穩(wěn)頻方式： 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測量距離：≤（0-80）m（無需遠距離線性附件）

測量分辨力：1nm

測量至大速度：4m/s

線性測量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值,，單位：″；M為測量距離,，單位：m)

主要特點：絕對測量,、恒測力,、無阿貝誤差